芯片工艺流程详解 - 智学轩城

芯片工艺流程详解

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战仲贤

2026-04-21 15:59:37

芯片工艺流程其实很简单,但复杂在细节上。先说最重要的,芯片制造过程大致分为光刻、蚀刻、离子注入、清洗、镀膜等步骤。
去年我们跑的那个项目,大概3000量级,光刻这一步就耗时了两个月。光刻是利用光罩(mask)将电路图案转移到硅片上,这个过程中,光罩的精度直接决定了芯片的性能。
我一开始也以为光刻只是个简单的曝光过程,后来发现不对,其实它涉及到光刻胶的选择、曝光强度控制、温度管理等众多细节。等等,还有个事,光刻机里的光束非常细,如果光束抖动太大,用行话说叫雪崩效应,其实就是前面一个小延迟把后面全拖垮了。
最后提醒一个容易踩的坑,就是离子注入过程中的剂量控制。剂量太低,芯片性能不足;剂量太高,又会损坏硅片。这个点很多人没注意,但我觉得值得试试用新的离子注入技术来优化这个过程。